‹ Назад
Пластины для микроэлектроники
Использование сапфировых пластин для микроэлектроники связано с изготовлением КМОП ИС выполненных по КНС-технологии, а также с изготовлением тензодатчиков на КНС-структурах. В обоих случаях используются пластины r-ориентации (1012).
292